研究成果: 專利
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TY - PAT
T1 - 以微波電漿束化學氣相沉積系統進行合成大面積鑽石薄膜之裝置、方法及其製成品
AU - 蘇, 春
PY - 2014/3/11
Y1 - 2014/3/11
M3 - 專利
M1 - I429778
ER -